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光学表面轮廓仪
光学表面轮廓仪

仪器型号Profilm3D/Zeta-20

项目简介

光学表面轮廓仪以先进的垂直干涉扫描(WLI)与高精度 的相位干涉(PSI) 技术实现次纳米级的表面形貌研究。
应 用 ：粗糙度测量；三维形貌表征；台阶高度测量


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