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KLA 台阶仪
KLA 台阶仪

仪器型号D系列台阶仪（P系列台阶仪）

项目简介

KLA台阶仪，以纳米级分辨率覆盖微米至毫米级垂直量程，支持台阶高度、表面粗糙度、翘曲度及薄膜应力的二维与三维形貌表征。
应 用 ：薄膜材料表面台阶高度测试；表面粗糙度测试；晶圆片表面镀膜翘曲测试；应力测试；全自动表面多点测量；图形识别。



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