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LUMINA 激光缺陷检测系统
LUMINA 激光缺陷检测系统

仪器型号LuminaAT1/AT2

项目简介

薄膜缺陷检测仪实现亚纳米薄膜涂层、纳米颗粒、划痕、凹坑、凸起、应力点和其他缺陷的全表面扫描和成像。
应用 ：所有缺陷类型；薄厚基板；透明和不透明基板；电介质涂层；金属涂层；键合硅片；开发和在线生产。


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