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椭偏仪、XRF 分析仪
椭偏仪、XRF 分析仪

仪器型号FS-1 多波长椭偏仪/XRF 分析仪

项目简介

椭偏仪与XRF分析仪，分别从光学特性和元素成分两个维度，实现对透明薄膜厚度、折射率及光学常数（n、k）的精准表征，同时覆盖半导体金属膜厚度测量需求。
应用：材料折射率消光系数测试；硅片自然氧化层厚度测试；光刻胶光学常数测试；半导体后段封装硅上金属厚度测量。


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