适用多种材质晶圆

Si / SiC / GaAs / GaN / InP / Glass

适用3寸-12寸晶圆

可对应平边及Notch

可对应多种卡匣类型

Open Cassette / Smif / FOUP / FOSB

精密光学系统

Pre-focus(预对焦)/ 精密金相光学系统

定制对应

根据客户需求，可对相应功能选择配置

如E-map、OCR、Pre-focus等

应用场景：检测微观缺陷，检查宏观瑕疵，测量关键参数，全流程工艺监控等。

一对一为您答疑解惑