仪器型号
日立钨灯丝扫描电子显微镜3800/3900系列，样品仓体直径可达300mm，满足12寸晶圆全尺寸测量，以其高可靠性及简易维护等优势在半导体，纳米材料及新能源等领域拥有较好的口碑及较高的市场占有率。
应用于8寸、12寸晶圆全尺寸微观形貌测试、失效分析，被各大半导体厂商及第三方检测机构使用。
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