仪器型号FE-SEM
日立冷场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）以其高分辨率，高可靠性及简易维护等优势，在半导体，纳米材料及新能源领域拥有极好的口碑和非常高的市场占有率。
应用于产品及材料微观形貌分析，元素分布检测，芯片失效分析，微观分别率可达0.7nm
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