赛默飞聚焦离子束扫描电子显微镜-FIB - 苏州分测科技有限公司

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赛默飞聚焦离子束扫描电子显微镜-FIB

仪器型号Helios 5 CX DualBeam

项目简介

配置参数：
离子束种类（初级离子束）：Xe、Ar、O、N
离子光学系统水平射野：0.9 mm
加速电压范围：500 V~30 kV
氙离子束分辨率：30 kV时＜10 nm
15kV时电子束分辨率：0.6 nm，电流范围：0.8 pA~100 nA，加速电压范围：350 V~30 kV
五轴电动载物台
配置GIS气体沉积系统和Pt喷镀系统