本次项目为半导体材料研发实验室整体设备采购项目，客户采购全套微观表征与精密制样设备，包含：2台日立Arblade 5000（IM5000 CTC）离子研磨系统、日立SU8600冷场发射扫描电子显微镜、赛默飞Helios 5 CX聚焦离子束FIB双束电镜。

整套设备用于半导体芯片、镀层材料、元器件失效分析、超薄无损截面制备、微区纳米加工等研发检测场景。我方提供原厂标准化防护打包、精密仪器减震专车运输、无尘实验室就位、气路/电路/真空系统安装、整机性能校准、工程师全套实操培训、售后质保一站式全流程交付服务，全部设备完成装机调试，顺利通过客户现场验收，整套微观分析实验室正式投入使用。

我方提供全链条一站式交付服务：原厂标准多层防震木箱定制封装、恒温减震专车物流、到货拆箱验收、无尘车间就位、气路/电路/真空系统安装调试、整机性能校准、工程师现场实操培训、长期原厂售后质保全流程服务，设备全部调试完成，顺利通过客户验收投入使用。

两套日立Arblade 5000离子研磨系统并排安装于无尘实验台，设备配套高清光学观测系统、实时成像显示器、氩气供气组件、真空机组完整配套。设备完成气路管路规范对接、真空密封性检测、离子束角度校准，屏幕可实时观测样品研磨全过程。

设备主要作用：针对半导体、金属、陶瓷样品做无变形层截面抛光，消除机械研磨造成的表面损伤，作为扫描电镜、FIB电镜前置核心制样设备。

单台IM5000 CTC离子研磨仪完整展示，主机触控操作屏、高精度样品调节机构、光学观测镜头、控制外设全部装配到位。整机按照日立原厂标准完成参数调试，可精准控制氩离子研磨角度、深度、速率，满足各类超薄样品无损制样需求。

日立SU8600冷场发射SEM独立安置防震实验台，搭配双屏图像处理工作站、专业操作控制面板，配套完整真空、冷却供气系统。冷场发射电镜具备超高分辨率成像能力，用于半导体形貌观测、元素分析、微缺陷检测，是材料表征核心观测设备。

赛默飞Helios 5 CX聚焦离子束双束电镜整机落地，配套独立数据处理工作站。设备集成电子束+离子束双系统，可实现纳米级切片、芯片电路修改、透射电镜TEM样品定点截取，搭配离子研磨仪、扫描电镜形成完整“制样-观测-纳米加工”闭环实验体系。

客户实验室形成完整微观分析产业链闭环，设备搭配分工清晰：

1. 日立Arblade 5000离子研磨仪：前期样品预处理，对大块样品做大面积无损截面抛光，去除表面应力变形层；

2. 日立SU8600冷场扫描电镜：样品宏观形貌、微观缺陷、镀层结构、元素成分成像分析；

3. 赛默飞Helios 5 CX FIB双束电镜：精准纳米加工、定点切片、制备超薄TEM样品，完成高精度失效解剖。

三台设备组合，覆盖半导体研发从样品制备、形貌观测到微区纳米加工全流程，无需外送第三方检测，大幅缩短新品研发、故障分析周期。

1. 多品类设备统一统筹交付

同时协调日立、赛默飞两大品牌设备出货、运输、进场规划，统一对接物流、卸货、装机工期，客户仅对接我方单一服务商，省去多方沟通成本。

2. 高端仪器专属防震储运方案

离子研磨仪、扫描电镜、FIB均属于超高精密真空设备，全部采用原厂多层缓冲包装、实木托盘固定，减震恒温专车运输，全程防雨防尘，规避震动损伤核心光学/离子组件。

3. 无尘实验室标准化专业装机

熟悉无尘车间温湿度、防震、供气、接地规范，独立完成多台设备管路排布、真空检漏、电路调试，严格对标原厂出厂性能参数，保障设备长期稳定运行。

4. 分机型一对一专项实操培训

分设备安排专项技术工程师教学：离子研磨制样实操、SEM成像与能谱分析、FIB纳米切割加工，结合客户实际半导体样品现场演示，实验人员可独立上机操作。

5. 全周期售后保障体系

整机原厂质保、定期上门校准维护、24小时技术远程支持、耗材长期配套供应，为实验室长期稳定运转提供后盾。

本次成套设备交付，助力客户搭建标准化、一体化高端半导体微观表征实验室，构建从样品前处理、高分辨形貌观测到纳米微加工的完整实验能力。

一体化打包运输、统一进场装机、全套技术培训的交付模式，大幅降低企业新建实验室的对接、时间、人力成本，快速投入芯片研发、零部件失效分析业务，提升企业材料检测核心竞争力。

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