本次合作客户为半导体新材料研发企业，搭建高标准微纳失效分析实验室，引进赛默飞Helios 5 CX聚焦离子束双束电镜整套系统，配套专用冷却机组、图形分析工作站、原厂微加工软件。

设备主要用于具备TEM制样，截面分析，微纳加工等功能，广泛应用于半导体材料缺陷表征、器件失效分析和微纳结构设计等领域。

1.设备多层加固装箱，规范码放装车

整机、分体配件全部采用出口级实木熏蒸木箱独立封装，箱体印刷易碎、向上、不可堆叠等国际通用防护标识；木箱底部搭配防潮缓冲垫，使用拉紧带多重锁紧固定，避免运输途中箱体移位磕碰，出库前逐项核对设备、配件、耗材清单。

2. 现场拆外罩，设备裸机防护完整

设备整车送达客户园区后，拆除外层防雨防尘篷布，木箱完好无磕碰、受潮痕迹，多层外部防护完整，最大程度隔绝户外灰尘、雨水，保护箱内精密组件。

3. 拆除木箱，设备原厂内层防护展示

拆解实木外包装箱，设备核心机头、管路、传感器全部使用气泡膜、粉色防静电拉伸膜分层包裹，管线单独缓冲防护，杜绝刮擦、静电损伤精密电子元器件，出厂防护标准完整落地。

4. 无尘实验室进场，整机就位安装

转运至万级无尘实验室，工程师穿戴无尘防护用品开展安装作业。设备平稳安置减震基座，依次对接真空机组、冷却管路、供电线路，分步完成腔体密封检测、多级真空抽取、高压系统调试，逐项校准离子束、电子束光路参数。

5. 整机调试完成，全套系统验收交付

整机硬件调试完毕，配套专业图像工作站同步部署原厂分析软件，显示器可实时输出微观成像、三维重构画面。设备成像精度、微刻蚀加工功能全部校验合格，完成全流程培训交付。

1. 半导体精密设备专属物流方案

合作专业精密仪器货运企业，减震恒温车厢+多层木箱缓冲包装，全程降低长途运输损坏风险；

2. 无尘实验室标准化安装能力

熟悉FIB电镜安装规范，掌握减震、恒温、真空检漏全套流程，适配科研实验室洁净环境要求；

3. 全流程闭环交付，无需多方对接

覆盖物流运输、厂区卸货、无尘室装机、软硬件调试、技术培训全环节，一站式落地，减少客户沟通成本；

4. 原厂标准性能校验

严格按照赛默飞官方参数完成离子束成像、微加工精度全项检测，保障设备长期稳定运行；

5. 行业定制化实操培训

针对半导体芯片失效分析场景定向教学，兼顾基础操作与高端微加工实验，快速实现设备投产使用。

赛默飞Helios 5 CX FIB双束电镜落地后，补齐客户实验室纳米尺度微加工、微观缺陷表征核心能力，可自主完成芯片切片、元器件失效检测、超薄电镜样品制备，无需外送第三方机构检测，大幅缩短新品研发周期、降低外部检测成本。

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